노광 장비 한 대를 사는 데 5,000억 원 안팎이 드는 시대가 됐습니다. SK하이닉스는 3월 ASML과 약 11조 9,496억 원 규모의 EUV 장비 취득 계약을 공시했고, 삼성전자와 SK하이닉스가 주문했거나 준비 중인 EUV는 40여 대로 ASML 연간 출하량의 3분의 2에 이른다는 보도도 나왔습니다.
이 글에서는 노광 장비의 뜻과 원리, 반도체 전공정과 후공정의 차이, EUV·DUV·하이NA 비교, 장비 가격과 ASML 독점 구조, 삼성·SK의 EUV 도입 현황, 국내 관련주와 투자 체크포인트를 정리합니다.
노광 장비 핵심 요약 — 30초 브리핑
노광 장비는 반도체 전공정에서 빛을 쏘아 마스크의 회로 패턴을 웨이퍼에 옮겨 새기는 장비입니다. 회로 선폭을 결정하기 때문에 반도체 미세화의 한계를 정하는 핵심 장비로 꼽히며, 가장 앞선 EUV 장비는 네덜란드 ASML 한 곳만 만듭니다.
| 항목 | 내용 | 비고 |
|---|---|---|
| 공정 위치 | 전공정 포토(노광) 공정 | 후공정(패키징·테스트) 장비 아님 |
| 주요 종류 | KrF·ArF·ArF 액침(DUV), EUV, 하이NA EUV | 파장이 짧을수록 미세 회로 |
| 시장 점유율 | ASML 약 88%, 캐논 약 6%, 니콘 약 3% | 2025년 매출 기준 추정 |
| 장비 가격 | EUV 대당 약 5,000억 원 추산, 하이NA 약 3.8억~4억 달러 | 언론 추정치 |
| 국내 관련 | 장비는 수입, 마스크·펠리클·감광액 등 소재·부품 | 에스앤에스텍·에프에스티·동진쎄미켐 |
표에서 가장 중요한 점은 국내 투자자가 노광 장비 자체에 투자할 방법이 사실상 ASML뿐이라는 것입니다. 국내에는 이 장비 완제품을 만드는 상장사가 없고, 대신 장비 안에 들어가는 마스크·펠리클·감광액 같은 소재와 부품을 공급하는 기업들이 노광 관련주로 묶입니다.
노광 장비 뜻과 원리 — 빛으로 회로를 찍는 포토 공정
노광(露光)은 “빛에 노출시킨다”는 뜻입니다. 필름 카메라가 빛으로 필름에 상을 맺듯, 노광 장비는 회로가 그려진 마스크에 빛을 통과시켜 웨이퍼 위 감광액에 그 무늬를 찍습니다. 빛을 받은 부분과 받지 않은 부분이 화학적으로 달라지면서 회로 모양이 남습니다.
과정은 네 단계로 이어집니다. 먼저 웨이퍼에 빛에 반응하는 감광액(포토레지스트)을 바르고, 장비로 빛을 쏜 뒤, 현상액으로 필요 없는 부분을 씻어 냅니다. 이후 식각 공정에서 드러난 부분을 깎아 내면 회로가 완성되고, 이 과정을 수십 번 반복해 층을 쌓습니다.
회로를 얼마나 가늘게 그릴 수 있는지는 빛의 파장에 달려 있습니다. 붓이 가늘수록 세밀한 그림을 그릴 수 있듯, 파장이 짧은 빛일수록 더 촘촘한 회로를 새길 수 있습니다. 반도체 업계가 수십 년 동안 더 짧은 파장의 광원을 찾아온 이유가 여기에 있습니다.
포토 공정은 반도체 원가에서도 큰 몫을 차지합니다. 첨단 칩일수록 노광을 거치는 횟수가 늘어나고, 한 번의 노광이 어긋나면 그 층 전체를 다시 작업해야 합니다. 그래서 같은 웨이퍼라도 노광 횟수와 정확도가 생산 원가와 수율을 좌우합니다.
노광 장비 독점 기업의 실적·가이던스·목표주가 →
반도체 전공정과 후공정 차이 — 8대 공정에서 노광의 위치
반도체 공정은 크게 전공정과 후공정으로 나뉘고, 노광은 전공정에 속합니다. 전공정은 둥근 웨이퍼 위에 회로를 만드는 단계이고, 후공정은 완성된 웨이퍼를 잘라 칩으로 만들고 포장한 뒤 성능을 시험하는 단계입니다.
| 구분 | 전공정 | 후공정 |
|---|---|---|
| 핵심 작업 | 웨이퍼 위에 회로 형성 | 칩 절단·패키징·테스트 |
| 8대 공정 | 웨이퍼 제조·산화·포토(노광)·식각·증착·금속 배선 | EDS(전기 검사)·패키징 |
| 대표 장비 | 노광·식각·증착·세정 장비 | TC 본더·테스트 핸들러·소켓 |
| 대표 기업 | ASML·어플라이드·램리서치·도쿄일렉트론 | 한미반도체·리노공업·테크윙 |
| 투자 포인트 | 미세화·설비투자 규모 | HBM·첨단 패키징 수요 |
최근에는 HBM과 칩렛 같은 첨단 패키징이 커지면서 후공정에서도 배선을 그리는 패키징용 노광기가 쓰입니다. 다만 이 장비는 캐논·니콘 등의 저가형으로 정밀도가 전공정 장비보다 훨씬 낮습니다. 일반적으로 노광 장비라고 하면 전공정의 DUV·EUV를 가리킵니다.
투자 관점에서도 둘은 다르게 움직입니다. 전공정 장비주는 반도체 회사의 설비투자 계획에 크게 좌우되고, 후공정 장비주는 HBM 같은 특정 제품의 생산량 변화에 더 민감합니다. 같은 반도체 장비주라도 어느 공정에 속하는지 먼저 확인해야 하는 이유입니다.
EUV·DUV·하이NA EUV 비교 — 파장·해상도·가격
노광 장비는 광원의 파장에 따라 세대가 나뉩니다. DUV(심자외선)는 248나노미터 KrF와 193나노미터 ArF가 대표적이고, ArF 장비에 물을 채워 해상도를 높인 것이 ArF 액침입니다. EUV(극자외선)는 13.5나노미터로 파장이 ArF의 약 14분의 1에 불과합니다.

EUV가 중요한 이유는 공정 단계를 줄여 주기 때문입니다. DUV로 7나노 이하 회로를 만들려면 같은 층을 여러 번 나눠 찍는 멀티 패터닝이 필요하지만, EUV는 한 번에 찍을 수 있습니다. 공정이 단순해지면 불량이 줄고 생산 속도가 빨라져 장비 값이 비싸도 경제성이 생깁니다.
하이NA EUV는 렌즈의 개구수(NA)를 0.33에서 0.55로 키워 해상도를 한 단계 더 높인 차세대 장비입니다. 2나노 이하 공정을 겨냥하며, 인텔이 가장 먼저 양산 라인에 들였고 벨기에 연구소 imec도 올해 최신 모델 EXE:5200을 확보했습니다. 전 세계 설치 대수는 아직 10여 대 수준입니다.
| 구분 | KrF | ArF 액침 | EUV | 하이NA EUV |
|---|---|---|---|---|
| 광원 파장 | 248nm | 193nm | 13.5nm | 13.5nm |
| 주요 용도 | 낸드·전력 반도체 등 | 10~28나노급 공정 | 7나노 이하 로직·D램 | 2나노 이하 차세대 |
| 공급사 | ASML·캐논·니콘 | ASML·니콘 | ASML 단독 | ASML 단독 |
| 대당 가격(추정) | 수백억 원대 | 1천억 원 안팎 | 2천억~5천억 원대 | 약 3.8억~4억 달러 |
표에서 보듯 EUV부터는 경쟁자가 없습니다. 반면 낸드플래시나 전력 반도체처럼 아주 미세한 회로가 필요 없는 제품에는 지금도 KrF와 i-line 장비가 많이 쓰입니다. 캐논과 니콘이 저가 장비 시장에서 꾸준히 버티는 이유입니다.
노광 장비 가격과 ASML 독점 구조 — 니콘·캐논이 밀린 이유
장비 가격은 세대가 올라갈수록 급격히 뛰었습니다. 로이터와 트렌드포스 보도에 따르면 하이NA EUV는 대당 약 3억 8,000만~4억 달러로, 이전 세대 EUV(약 1억 8,000만 달러)의 두 배가 넘습니다. 국내 업체들이 최근 발주한 EUV는 최신 모델이 섞이며 대당 5,000억 원 안팎으로 추산됩니다.
시장은 사실상 ASML 독주입니다. 조사기관 GM Insights는 2025년 매출 기준 ASML 점유율을 약 88%, 캐논 약 6%, 니콘 약 3%로 추정합니다. EUV는 ASML이 100% 공급하고, 니콘과 캐논은 KrF나 i-line 같은 구형·저가 장비 위주로 남았습니다.

EUV 감광액·마스크·특수가스 대표 종목 비교 →
1990년대까지만 해도 노광 장비 시장의 강자는 니콘과 캐논이었습니다. 판도가 바뀐 계기는 2000년대 ArF 액침 기술과 EUV 개발이었습니다. ASML은 독일 자이스(광학), 미국 사이머(광원) 등 협력사와 손잡고 20년 넘게 EUV에 투자했고, 일본 업체들은 비용 부담에 EUV 개발을 포기했습니다.
ASML 실적에도 이 구조가 그대로 드러납니다. 2025년 ASML 노광 장비 출하는 327대로 2024년 418대보다 줄었는데, 중국향 DUV 출하가 줄어든 영향이었습니다. 반면 EUV 매출은 늘었고, 회사는 2027~2028년 생산 능력으로도 수요를 다 맞추기 어렵다고 밝혔습니다.
삼성전자·SK하이닉스의 EUV 도입 현황과 HBM 연결
한국은 EUV 장비의 최대 수요처 가운데 하나입니다. 서울경제 보도에 따르면 삼성전자와 SK하이닉스가 최근 주문했거나 발주를 준비 중인 EUV는 40여 대, 금액으로 약 20조 원 규모입니다. ASML이 올해 출하할 것으로 예상한 저개구수 EUV 60대 이상의 3분의 2에 해당합니다.
SK하이닉스는 3월 24일 공시에서 ASML 한국법인으로부터 약 11조 9,496억 원어치 EUV 스캐너를 2027년 말까지 들여오기로 했습니다. 업계는 20대 안팎으로 보고 있으며, 일부 하이NA 장비가 포함된 것으로 알려졌습니다. 회사 자기자본의 상당 부분에 해당하는 대형 투자입니다.
삼성전자는 화성캠퍼스에 하이NA EUV를 2대가량 들였고, 2028년까지 첨단 D램 생산에 적용할 계획으로 알려졌습니다. 메모리 업체가 EUV를 늘리는 이유는 HBM입니다. HBM에 쌓는 D램 칩이 미세해질수록 EUV 공정 층수가 늘어나, HBM 수요가 곧 EUV 수요로 이어집니다.
파운드리 쪽에서는 대만 TSMC가 EUV를 가장 많이 쓰는 고객입니다. TSMC의 3나노·2나노 공정 확대에 한국 메모리 업체의 대규모 주문까지 겹치면서, ASML이 2027~2028년 공급 부족을 언급하는 배경이 됐습니다.
국내 관련주 — 에스앤에스텍·에프에스티·동진쎄미켐·이솔
국내 노광 관련주는 장비 안에서 쓰이는 소모성 소재·부품 기업이 중심입니다. 장비 한 대가 들어오면 마스크·펠리클·감광액이 계속 소모되기 때문에, EUV 대수가 늘어날수록 이들 기업의 매출 기반도 함께 커지는 구조입니다.
| 기업 | 역할 | 포인트 |
|---|---|---|
| 에스앤에스텍(101490) | 블랭크 마스크 | EUV용 블랭크 마스크 국산화, 2020년 삼성전자 지분 투자 |
| 에프에스티(036810) | 펠리클 | 마스크 보호막, EUV 펠리클 개발·평가 |
| 동진쎄미켐(005290) | 감광액(포토레지스트) | KrF·ArF 감광액 공급, EUV 감광액 국산화 추진 |
| 이솔(비상장) | EUV 마스크 검사·계측 장비 | 코스닥 상장 준비, 삼성증권·미래에셋증권 공동 주관 |
ASML 직접 투자를 위한 계좌·거래시간·환전 방법 →
에스앤에스텍은 회로 원판인 포토마스크의 바탕이 되는 블랭크 마스크를 만들고, 에프에스티는 마스크에 먼지가 붙지 않도록 씌우는 얇은 막인 펠리클을 생산합니다. 두 회사 모두 EUV용 제품의 양산 공급 여부가 주가를 움직이는 가장 큰 변수입니다.
투자할 때는 각 기업의 EUV 매출 비중이 아직 작다는 점도 감안해야 합니다. 대부분 매출은 여전히 KrF·ArF용 제품에서 나오고, EUV 제품은 고객사 품질 인증을 거쳐 양산 공급으로 넘어가는 단계에 있습니다. 기대감이 주가에 먼저 반영되는 경우가 많은 이유입니다.
이솔은 국내에서 드물게 EUV 장비를 직접 만드는 회사로, EUV 마스크 결함을 찾아내는 리뷰 장비와 위상 측정 장비를 개발했습니다. 그동안 독일 자이스가 사실상 독점해 온 영역이며, 최근 740억 원 규모 투자를 유치하고 상장 주관사를 선정했습니다. 아직 비상장이라 상장 일정을 확인해야 합니다.
노광 시장 전망과 투자 체크포인트 3개
노광 장비 시장의 큰 흐름은 “공급이 수요를 못 따라가는 구조”입니다. AI 반도체와 HBM 투자가 이어지는 한 EUV 주문은 쌓일 가능성이 높습니다. 다만 장비 한 대 값이 수천억 원이라, 반도체 업황이 꺾이면 발주 연기로 가장 먼저 흔들리는 분야이기도 합니다.
체크포인트 첫째는 ASML의 수주와 가이던스입니다. 분기마다 발표되는 신규 수주와 다음 해 매출 전망이 노광 투자 사이클의 온도계 역할을 합니다. 내년 1월 ASML이 내놓을 2027년 가이던스가 2027~2028년 공급 부족 발언을 숫자로 확인해 줄지가 관건입니다.
둘째는 하이NA EUV 도입 속도입니다. 인텔·삼성전자·SK하이닉스가 하이NA를 실제 양산에 얼마나 빨리 쓰느냐에 따라 장비 단가와 소재 수요가 달라집니다. 셋째는 중국 수출 규제입니다. 중국은 ASML DUV의 큰 고객이어서 규제가 강해지면 출하 대수가 줄어드는 반면, 중국의 자체 장비 개발도 변수가 됩니다.
중국 변수도 지켜볼 만합니다. 지난해 말 중국이 자체 EUV 시제품 개발에 진전을 보였다는 소식이 전해졌지만, 양산 라인에 들어갈 수준에 이르려면 시간이 더 필요하다는 평가가 많습니다. 당장은 ASML 독점을 흔들 변수라기보다 장기 리스크에 가깝습니다.
국내 소재주에 투자한다면 EUV 제품의 양산 공급 소식, 삼성전자·SK하이닉스의 설비투자 계획, 분기 실적의 EUV 매출 비중을 함께 확인하는 것이 좋습니다. 개별 종목 변동성이 크다면 반도체 소부장 ETF로 나눠 담는 방법도 있습니다.
반도체 소부장 ETF 고를 때 총보수·실부담비용 비교 →
노광 장비 자주 묻는 질문
노광 장비는 전공정인가요, 후공정인가요?
노광 장비는 전공정 장비입니다. 웨이퍼 위에 회로를 새기는 포토 공정에 쓰이며, 칩을 자르고 포장하는 후공정 장비와는 구분됩니다. 첨단 패키징에도 패키징용 노광기가 쓰이지만 정밀도가 훨씬 낮습니다.
EUV와 DUV는 무엇이 다른가요?
가장 큰 차이는 빛의 파장입니다. DUV는 248nm(KrF)·193nm(ArF) 광원을, EUV는 13.5nm 광원을 씁니다. 파장이 짧은 EUV는 7나노 이하 미세 회로를 한 번에 찍을 수 있어 공정 단계를 줄여 줍니다.
EUV 장비 가격은 얼마인가요?
언론 추정으로 국내 업체가 최근 발주한 EUV는 대당 약 5,000억 원 안팎이고, 하이NA EUV는 대당 3억 8,000만~4억 달러 수준으로 알려져 있습니다. 실제 가격은 계약 조건에 따라 다릅니다.
국내에 노광 장비를 만드는 회사가 있나요?
이 장비 완제품을 만드는 국내 상장사는 없습니다. 대신 블랭크 마스크(에스앤에스텍), 펠리클(에프에스티), 감광액(동진쎄미켐) 같은 소재·부품 기업이 있고, 비상장사 이솔이 EUV 마스크 검사 장비를 만들며 상장을 준비하고 있습니다.
하이NA EUV는 언제 본격 도입되나요?
인텔이 가장 먼저 도입했고 2나노 이하 공정을 겨냥합니다. 삼성전자는 2028년까지 첨단 D램에 적용할 계획으로 알려졌으며, 전 세계 설치 대수는 아직 10여 대 수준입니다.
본 콘텐츠는 투자 참고용 정보이며, 특정 종목에 대한 매수·매도 권유가 아닙니다. 장비 가격과 시장 점유율은 언론·조사기관 추정치로 실제 계약 조건과 다를 수 있습니다. 투자 판단과 책임은 투자자 본인에게 있습니다. 데이터 출처: 금융감독원 DART, 한국거래소 KRX, ASML Investor Relations (2026년 10월 19일 기준)

DART 공시와 재무제표를 기반으로 국내와 해외 주식 종목을 분석합니다. AI·반도체·방산·조선 등 테마별 관련주 리서치와 ETF 비교 정보를 제공합니다